Neuer VDI Richtlinien-Entwurf zur Messtechnik für Reinräume (VDI 2083, Blatt 3)

Der VDI hat im August 2021 einen neuen Entwurf der Richtlinie 2083 Blatt 3 zur Messtechnik in der Reinraumtechnik veröffentlich. Das Dokument mit Messverfahren für Reinräume und Reinraumbereiche die sowohl in der Inbetriebnahme, der Qualifizierung als auch in der fortlaufenden Überwachung eingesetzt werden enthält einige wichtige Änderungen. Die aufgerührten Messmethoden sind für die Übergabe von RLT Anlagen sowie für die Durchführung von Routine- und Überwachungsmessungen nach DIN EN 12599, VDI 2083 Blatt 2 und DIN EN ISO 14644-4 vorgesehen. Kontinuierliche Messungen, die im Rahmen des Monitorings eingesetzt werden, werden dagegen in VDI 2083 Blatt 3.1 und DIN EN ISO 14644-2 beschrieben.

Die Richtlinie 2083-3 umfasst folgende Prüfungen:

  • Sichtprüfung / Visuelle Kontrolle
  • Messung der Luftgeschwindigkeit und des Luftvolumenstroms reinluftseitig von endständigen Filtern
  • Filterleckprüfung
  • Prüfung der Dichtheit von abgeschlossenen Reinraumbereichen (Containments)
  • Druckdifferenz am Luftfilter
  • Druckdifferenz zwischen Räumen
  • Durchführung der Strömungsvisualisierung
  • Klassifizierung der Luftreinheit
  • Bestimmung der Erholzeit
  • Bestimmung der Temperatur und relativen Feuchte

Im nun vorliegenden Entwurf ist die Beschreibung der Luftgeschwindigkeitsmessungen sehr viel ausführlicher. Auch die Strömungsvisualisierung ist deutlich ausführlicher enthalten. Die Messungen zur Leckfreiheit von endständigen HEPA-Filtern sind neu verfasst. Ebenfalls neu ist die theoretische Bestimmung der Erholzeit in Abhängigkeit vom Raumluftwechsel. Die Durchführung der Erholzeitmessung sind mit einem Hinweis auf die ISO 14644-3:2020 angepasst worden.

Speziell wurde die Messung zur Leckfreiheit neu definiert. In der Vorgängerversion wurde noch der Fraktionsabscheidegrad der Filter berücksichtigt, wohingegen in der neuen Version der Durchlassgrad, bzw. die Penetration als Grenzwert definiert ist. Des Weiteren sind die Scangeschwindigkeiten in Abhängigkeit der Messsonden-Form nun fest vorgegeben. Keine Änderungen gab es beim verwendeten Prüfaerosol und auch die Vorgehensweise zur Durchführung der Messung blieb unverändert.

Die Frist zur Einreichung von Kommentaren läuft bis Ende Oktober 2021. Erhältlich ist der Entwurf der Richtlinie VDI 2083 Blatt 3  in deutscher Sprache beim Beuth Verlag.

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