Der Federal Standard 209 ist das Vorgabedokument für die Reinraumtechnik
seit mehr als 40 Jahren. Dieses Dokument wurde nun offiziell durch
eine Norm der International Organisation for Standardization (ISO)
ersetzt. Das Dokument heißt ISO 14644-1 Reinräume und
zugehörige Reinraumbereiche - Teil 1 Klassifizierung der
Luftreinheit.
Das Institute of Environmental Sciences
and Technology (IEST) ist als Sekretariat für ISO/TC 209 tätig und
hat dieses Dokument als Part 1 einer Serie von 11 Dokumenten
entwickelt, um weltweit die Anforderungen zu harmonisieren.
Näheres zu der Serie ISO 14644
finden Sie in unserer News
vom 10.12.2001, in der wir bereits Ende letzten Jahres über
die Neuerungen informiert haben.
Zusätzlich zu dem jetzt in Kraft
getretenen Teil 1 der ISO 14644 ist derzeit der Teil 3 in
der Diskussion:
Anfang der 90-er Jahre wurde auf ISO-Ebene begonnen, Richtlinien zu
erstellen, die weltweit Gültigkeit besitzen. Analog zu der VDI-Richtlinie
2083 Blatt 3 - Messtechnik in der Reinraumluft entstand die ISO -
Richtlinie 14644 Part 3 - Metrology and Test Methods. Da durch
die Inhalte der ISO – Richtlinie wesentliche Teile der VDI 2083-3
abgedeckt sind, wurde im Jahr 2000 begonnen das Blatt 3 der VDI-Richtlinie
zu überarbeiten. Ziel ist es dabei die Punkte, die in der ISO-Richtlinie
nicht in dem Maße behandelt wurden, wie dies für Anwendungen im
deutschen Sprachraum üblich oder notwendig ist, so herauszuarbeiten, dass
die Richtlinie für die Anwender eine größere praktische Bedeutung
erlangt. Wenn die beiden Richtlinien, voraussichtlich im Jahre 2002, dem
Nutzer zur Verfügung stehen soll die ISO-Richtlinie generell anwendbar
sein und bei einigen Punkten wird die VDI - Richtlinie entsprechende
Ergänzungen liefern. Die ISO-Richtlinie wird in deutscher Fassung
voraussichtlich mit der Bezeichnung DIN – EN 14644 - 3 vorliegen.
Letztlich bleibt es eine Vereinbarung zwischen Nutzer und Lieferant,
welche Prüf- und Messmethoden bei den Abnahmemessungen oder den
Requalifizierungen angewendet werden sollen.
Inhalt - ISO 14644 Part 3 - Metrology and test methods
Die ISO Richtlinie 14644 Part 3 liegt in der Fassung CD (Committee
Draft) vor. Der Inhalt dieser Richtlinie ist wie folgt aufgebaut:
|
|
Foreword and Introduction |
|
|
1. |
Scope |
Stellt den Anwendungsbereich dar |
|
2. |
Normative references |
Bezug zu den bereits herausgegebenen Teilen der ISO 14644 |
|
3. |
Terms and definition |
Erläuterungen der Begriffe aus der Richtlinie |
|
4. |
Testing procedures |
|
|
4.1 |
Recommended tests |
Übersicht über die empfohlenen Prüfungen und Messungen |
|
4.2 |
Purpose of tests |
Grund der Messung bzw. Prüfung |
|
5. |
Documentation |
Dokumentation |
Anhänge der ISO Richtlinie 14644-3:
|
Annex A |
Choice of recommended tests of an installation and the sequence in which to carry them out |
|
Annex B |
Recommendations for test methods |
|
Annex C |
Test instrumentation |
|
Annex D |
Sources of information and bibliographical references |
Testing Procedures - Kapitel 4 der ISO14644-3
Eine übersichtliche Tabelle stellt den Zusammenhang zwischen den
Messparametern, den anzuwendenden Mess- bzw. Prüfprozeduren und die dazu
verwendenden Instrumenten her. Ebenso werden die Richtlinien aufgezeigt
die ebenso anzuwenden sind, wie im Fall der Prüfung der Reinheitsklasse
(Airborne particle count for classification) die in 14644 Part 1 definiert
ist.
|
Recommended test items |
Clause for Procedure (Annex B) |
Clause for Instrument (Annex C) |
Referred to ISO standard |
|
Airborne particle count for classification of the installation
and test measurement |
B.1 |
C.1 |
14644-1
14644-2 |
|
Airborne particle count for ultrafine particles |
B.2 |
C.2 |
14644-1 |
|
Airborne particle count for macroparticles |
B.3 |
C.3 |
14644-1 |
|
Airflow test |
B.4 |
C.4 |
14644-1&2 |
|
Air pressure difference test |
B.5 |
C.5 |
14644-1&2 |
|
Installed filter system leakage test |
B.6 |
C.6 |
14644-2 |
|
Airflow visualization |
B.7 |
C.7 |
14644-2 |
|
Airflow direction test |
B.8 |
C.8 |
|
|
Temperature test |
B.9 |
C.9 |
|
|
Humidity test |
B.10 |
C.10 |
|
|
Electrostatic and ion generator test |
B.11 |
C.11 |
|
|
Particle deposition test |
B.12 |
C.12 |
|
|
Recovery test |
B.13 |
C.13 |
14644-2 |
|
Containment leak test |
B.14 |
C.14 |
14644-1&2 |
Tabelle: Übersicht über die
empfohlenen Testparameter, die dazugehörigen Messprozeduren und die
geeigneten Messgeräte.
Annex A - Choice of recommended tests of an installation and the
sequence in which to carry them out
In diesem Kapitel werden die empfohlenen Mess- und Prüfprozeduren
erläutert. Eine Tabelle ermöglicht die Auswahl der Reihenfolge der
Prüfungen und die Auswahl des verwendeten Messgerätes oder der dazu zu
verwendeten Prüfgeräte.
In Spalte zwei wird die Reihenfolge der Tests gewählt und Spalte 4
ermöglicht die Auswahl des entsprechenden Messgeräts. Alle
Testprozeduren sind in der Tabelle aufgeführt.
|
Test activity |
Test selected and sequence |
Procedure reference |
Instrument selection |
Test Inst. selected |
Comments |
| Airborne
particle count for classification and test measurement |
[] |
B.1 |
C.1 |
|
|
| Discrete-particle
counter |
|
|
| Airborne
particle count for ultrafine particles |
[] |
B.2 |
C.2 |
|
|
| Condensation nucleus
counter |
|
|
| Discrete-particle counter |
|
|
| Size cut-off device |
|
|
| Airborne particle count
for macroparticles |
|
B.3 |
C.3 |
|
To be tested by outsource
contractor |
| With particle collection |
|
B.3.3.1 |
Microscopic measurement on
collected filter paper |
|
|
Tabelle: Auszug aus
der Tabelle von Annex A - Choice of recommended tests of an
installation and the sequence in which to carry them out
Annex B - Recommendation for test methods
In Annex B sind Empfehlungen für die Durchführungen der einzelnen
Prüfungen und Messungen gegeben. Weiterhin werden die empfohlenen
Prozeduren beschrieben. Die Gliederung der einzelnen Prozeduren B.1-B.14
ist in folgender Reihenfolge aufgebaut:
- Anwendung
- Beschreibung der Mess- bzw. Prüfprozedur
- Geräte zur Durchführung der Prozedur
- Dokumentation der Prozedur
Wenn Sie an diesem Thema interessiert sind,
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"GMP-/FDA-gerechte
Planung von Reinraumsystemen (PT 19)", das vom
15.-17. Oktober 2002 in Heidelberg stattfindet.
Autor:
Harald Martin
CONCEPT HEIDELBERG
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